A legprimitívebbtúlfeszültség védőA 19. század végén jelent meg a karom alakú rés, és légvezetékekben használták a berendezések szigetelését károsító villámcsapás okozta áramkimaradások megelőzésére. Az 1920-as években megjelentek az alumínium túlfeszültség-védők, oxidfilmes túlfeszültség-védők és tabletta túlfeszültség-védők. Cső alakútúlfeszültségvédőkaz 1930-as években jelent meg. A szilícium-karbid villámhárítók az 1950-es években jelentek meg. A fémoxid túlfeszültségvédők az 1970-es években jelentek meg. Modern nagyfeszültségűtúlfeszültségvédőknemcsak az elektromos rendszerben villámcsapás okozta túlfeszültség korlátozására szolgálnak, hanem a rendszer működése által okozott túlfeszültség korlátozására is. 1992 óta széles körben bevezették Kínába a Németország és Franciaország által képviselt ipari vezérlési szabványú 35 mm-es sínre pattintható SPD villámvédelmi modult, majd később az Egyesült Államok, ill. Nagy-Britannia is belépett Kínába.